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マイクロメカトロニクス 圧電アクチュエータを中心に / 原タイトル:Micromechatronics
KenjiUchino JayneR.Giniewicz 内野研二 石井孝明
目次
第1章 アクチュエータデバイス/マイクロメカトロニクスシステム開発の現状
第2章 電界誘起歪みの理論的取り扱い 第3章 アクチュエータ材料 第4章 セラミックアクチュエータの構造と製法 第5章 圧電アクチュエータの駆動/制御方式 第6章 損失のメカニズムと発熱 第7章 圧電構造物の有限要素法 第8章 サーボ変位トランスデューサとしての応用 第9章 パルス駆動モータとしての応用 第10章 超音波モータとしての応用 第11章 マイクロメカトロニクスシステムにおけるセラミックアクチュエータの将来

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