目次
第1章 アクチュエータデバイス/マイクロメカトロニクスシステム開発の現状
第2章 電界誘起歪みの理論的取り扱い
第3章 アクチュエータ材料
第4章 セラミックアクチュエータの構造と製法
第5章 圧電アクチュエータの駆動/制御方式
第6章 損失のメカニズムと発熱
第7章 圧電構造物の有限要素法
第8章 サーボ変位トランスデューサとしての応用
第9章 パルス駆動モータとしての応用
第10章 超音波モータとしての応用
第11章 マイクロメカトロニクスシステムにおけるセラミックアクチュエータの将来