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半導体ﾃﾞﾊﾞｲｽにおける界面制御技術 固体界面物性と計算機実験の基礎と応用
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大貫仁/共著 篠嶋妥/共著 永野隆敏/共著 稲見隆/共著
目次
第1章 半導体ﾃﾞﾊﾞｲｽの製造ﾌﾟﾛｾｽ
第2章 半導体ﾃﾞﾊﾞｲｽにおける材料界面の組織学 第3章 固体物性の基礎 第4章 半導体ﾃﾞﾊﾞｲｽにおける材料界面創製のための計算機実験の基礎 第5章 界面組織評価技術 第6章 集積回路における界面創製技術 第7章 ﾊﾟﾜｰﾃﾞﾊﾞｲｽにおける界面技術 第8章 3次元実装における界面技術
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