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ナノインプリントの開発とデバイス応用 普及版(エレクトロニクスシリーズ)
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松井真二/監修
目次
総論
第1編 転写方式(熱ナノインプリント 光ナノインプリント 室温ナノインプリント ナノインプリントのシミュレーション技術) 第2編 装置と関連部材(ナノインプリント装置 モールド 樹脂 離型剤(評価) 離型不良・課題 ナノインプリントパターン評価) 第3編 デバイス応用(光デバイス 電子デバイス エネルギーデバイス バイオデバイス)
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