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ULSIﾃﾞﾊﾞｲｽ･ﾌﾟﾛｾｽ技術
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菅野卓雄 伊藤隆司 電子情報通信学会
目次
第1章 序論
第2章 ﾊﾞｲﾎﾟｰﾗﾄﾗﾝｼﾞｽﾀの動作機構 第3章 MOSﾄﾗﾝｼﾞｽﾀの動作機構 第4章 ULSIﾃﾞﾊﾞｲｽ構造 第5章 微細加工技術 第6章 材料ﾌﾟﾛｾｽ技術 第7章 信頼性と検査技術 第8章 ULSIの新展開
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