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LSI故障解析技術
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二川清/著
目次
第1章 LSIの故障とその特徴(故障解析に関連するLSIのﾄﾚﾝﾄﾞ
LSIの故障の特徴 ほか) 第2章 LSI故障解析技術概論(基本の「き」 故障解析の手順 ほか) 第3章 故障解析事例(DRAMのIR‐OBIRCHなどによる解析事例 ﾛｼﾞｯｸLSI(ｼｽﾃﾑLSI)の解析事例 ほか) 第4章 新しい故障解析関連手法の開発動向(光を利用した故障解析技術発展の流れと最近の動向 OBIRCH関連手法発展の流れと最近の動向 ほか)
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